RTP滑動式快速退火爐
- 產(chǎn)品描述
-
產(chǎn)品用途：
該電爐采用紅外燈管加熱，通過滑動爐體實現(xiàn)快速降溫。應用于半導體或太陽能電池基片退火。也可用于快速熱退火、快速熱氧化、快速熱氮化、硅化物合金退火、電極合金化、氧化物生長、離子注入后退火、薄膜沉積等工藝試驗。
產(chǎn)品特點：
可在真空/氣氛/空氣等不同環(huán)境下通過快速移動爐體，加之強風冷設計，可對樣品進行快速升降溫處理；溫控精度高，最大升溫速率30℃/s;緊湊的臺式設計，快速連接法蘭，減少了爐管因安裝造成損壞的可能，方便操作。
技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品名稱
RTP滑動式快速退火爐
產(chǎn)品型號
RTP-G11103-K
額定功率
9KW
最高溫度
1000℃
工作溫度
950℃（＜1小時）
石英管尺寸
Φ110*360mm
加熱區(qū)長度
190mm
恒溫區(qū)長度
100mm
加熱元件
紅外燈管
溫度控制
國產(chǎn)程序控溫系統(tǒng)可編輯50段程序控溫
控溫定度
±1℃
爐管材質(zhì)
石英管
滑動距離
355mm
滑動方式
手動
建議升降溫速度
30℃-50℃/min
外形尺寸
565*960*665
關(guān)鍵詞：
相關(guān)產(chǎn)品
聯(lián)系方式
地址: 天津北辰科技園區(qū)雙川道11號
COOKIES
我們的網(wǎng)站使用 cookie 和類似技術(shù)來個性化向您展示的廣告，并幫助您在我們的網(wǎng)站上獲得最佳體驗。 欲了解更多信息，請參閱我們的隱私和 Cookie 政策
COOKIES
我們的網(wǎng)站使用 cookie 和類似技術(shù)來個性化向您展示的廣告，并幫助您在我們的網(wǎng)站上獲得最佳體驗。 欲了解更多信息，請參閱我們的隱私和 Cookie 政策
這些 cookie 是支付等基本功能所必需的。 標準 cookie 無法關(guān)閉，也不會存儲您的任何信息。
這些 cookie 收集信息，例如有多少人正在使用我們的網(wǎng)站或哪些頁面受歡迎，以幫助我們改善客戶體驗。 關(guān)閉這些 cookie 將意味著我們無法收集信息來改善體驗。
這些 cookie 使網(wǎng)站能夠提供增強的功能和個性化。 它們可能由我們或我們已將其服務添加到我們頁面的第三方提供商設置。 如果您不允許這些 cookie，那么部分或全部這些服務可能無法正常運行。
這些 cookie 幫助我們了解您感興趣的內(nèi)容，以便我們可以在其他網(wǎng)站上向您展示相關(guān)廣告。 關(guān)閉這些 cookie 將意味著我們無法向您展示任何個性化廣告。
實驗爐系列
工業(yè)爐系列
新產(chǎn)品推薦
中環(huán)電爐客服