質(zhì)量流量控制系統(tǒng)

操作便捷性：1、方便的氣路快速連接口，簡化了流量控制系統(tǒng)與其他設(shè)備的鏈接。2、配置有三種接口（寶塔式接口、雙卡套式接口、KF接口），方便組合多種連接方式。

所屬分類：

聯(lián)系電話：

15122725930

產(chǎn)品特點(diǎn)：

一、操作便捷性：

1、方便的氣路快速連接口，簡化了流量控制系統(tǒng)與其他設(shè)備的鏈接。

2、配置有三種接口（寶塔式接口、雙卡套式接口、KF接口），方便組合多種連接方式。

二、控制智能化：

采用數(shù)顯流量顯示儀，配合質(zhì)量流量控制器，采集數(shù)據(jù)并控制流量。具有控制精度高，重復(fù)性好，響應(yīng)速度快，穩(wěn)定可靠等特點(diǎn)（氣體質(zhì)量流量控制器）。

三、使用穩(wěn)定性：

1、采用單向閥技術(shù)，使氣體流量在可控壓力范圍內(nèi)控制，保證穩(wěn)定。

2、采用混氣灌裝置，使氣體可以在充分混合后導(dǎo)入工作室內(nèi)，確保不會泄漏。

四、周邊拓展性：

1、該氣體質(zhì)量控制系統(tǒng)可配我公司生產(chǎn)的真空/氣氛管式電爐及真空/氣氛箱式電爐使用。

2、該氣體流量控制系統(tǒng)可以與我公司生產(chǎn)的真空控制系統(tǒng)組合使用。

3、可為用戶定制多路氣路產(chǎn)品。

產(chǎn)品參數(shù)：

規(guī)格	質(zhì)量流量柜			觸屏質(zhì)量流量柜
產(chǎn)品型號	ZL-02H	ZL-03H	ZL-04H	ZL-02C	ZL-03C	ZL-04C
氣路數(shù)量	兩路	三路	四路	兩路	三路	四路
精度	±1%F.S
響應(yīng)時間	1sec
線性方法	5點(diǎn)
調(diào)零	自動
過沖保護(hù)	有
流量計(jì)	質(zhì)量流量計(jì)
流量范圍	0-500sccm(標(biāo)準(zhǔn)毫升/分）氮?dú)鈽?biāo)定
工作溫度	5-45℃
工作壓力	進(jìn)氣壓力0.05-0.3MPa(表壓力）
流量控制方式	(按鍵式)數(shù)顯流量控制儀			觸屏+PLC控制
爐體尺寸mm	530×770×750			530×670×1800
重量	48Kg			80Kg
標(biāo)準(zhǔn)配件	雙卡套接頭，PUφ6管/每路2米，φ4×15MM不銹鋼襯管5個

規(guī)格	質(zhì)量流量柜			觸屏質(zhì)量流量柜
產(chǎn)品型號	ZL-02H	ZL-03H	ZL-04H	ZL-02C	ZL-03C	ZL-04C
氣路數(shù)量	兩路	三路	四路	兩路	三路	四路
精度	±1%F.S
響應(yīng)時間	1sec
線性方法	5點(diǎn)
調(diào)零	自動
過沖保護(hù)	有
流量計(jì)	質(zhì)量流量計(jì)
流量范圍	0-500sccm(標(biāo)準(zhǔn)毫升/分）氮?dú)鈽?biāo)定
工作溫度	5-45℃
工作壓力	進(jìn)氣壓力0.05-0.3MPa(表壓力）
流量控制方式	(按鍵式)數(shù)顯流量控制儀			觸屏+PLC控制
爐體尺寸mm	530×770×750			530×670×1800
重量	48Kg			80Kg
標(biāo)準(zhǔn)配件	雙卡套接頭，PUφ6管/每路2米，φ4×15MM不銹鋼襯管5個